이런 경우에는 해결책을 찾기가 애매한데,
RaiseLastOsError( http://docwiki.embarcadero.com/Libraries/XE3/en/System.SysUtils.RaiseLastOSError ) 를 통해서 OS에게 물어보는 것이 최선입니다.

보통의 경우
다른 프로세스가 해당 파일을 사용하고 있거나
내가 작성한 프로그램 내부에서
  해당 파일을 사용하고 있거나
  사용 후 핸들을 내려 놓지 않을 경우
발생합니다.

쿠핑 님이 쓰신 글 :
: 안녕하세요
:
: 이젠 정말 서늘해졌습니다.....
:
: 다름이 아니라
:
: copy명령
: CopyFile(PChar(src_file), PChar(des_file), false);
:
: 이렇게 해서 파일을 복사했습니다.(기존 파일이 있으면 덮어씌우기.)
:
: 그리고 복사가 다 끝난 상태에서 복사본과 원본을 지우려고 할때
:
: 다른 프로세스에서 사용중이라고 삭제가 되지 않습니다.
:
: 이럴땐 어떻게 하는건가요??
:
: 프로그램을 종료해야 프로세스가 떨어지던데요~~~ㅠ.ㅠ
:
: 답변 부탁드립니다.